Bird 7027 Series: RF Power Sensor CW & Pulse signal ทีให้ค่าผิดพลาด 1% Accurate สำหรับงานผลิต Semiconductor

รหัสสินค้า : Bird 7027 Series

Download Technical Datasheet

สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติม ติดต่อ : วิชิต ชำนาญการค้า โทร. 08-1832-7016

สินค้ารับประกัน 1 ปี (เฉพาะตัวเครื่อง ไม่รวมถึงสินค้าสิ้นเปลือง) * โปรดตรวจสอบราคาตั้งอีกครั้ง

Bird ตระกูล 7027 ถือว่า เป็น RF Sensor ระดับความแม่นยำสูง Precision เพื่องานตรวจวัด calibrate RF Gen Plasma System เพื่อวัดปรับBalance Reflected Power ให้กับระบบ Matching Box ในงาน Semiconductor Fab Application วัดได้ทั้งคลื่นสัญญาณ CW และ Pulse มีรุ่นให้เลือกดังนี้ 

• Bird 7027-1-594301 (ย่านความถี่และย่านเพาเวอร์ 13.56MHz,10KW)
• Bird 7027-1-604801 (ย่านความถี่และย่านเพาเวอร์ 27.12MHz,3KW)
• Bird 7027-1-624901 (ย่านความถี่และย่านเพาเวอร์ 60MHz,6KW)

ฟังก์ชันทางเทคนิค

• สามารถแสดงผลการวัดแบบ Time Domain
• ตั้ง Gate Power Measurement ได้ 4 Point
• รองรับ สัญญาณ Pulse ที่มี Pulse Width น้อยกว่า < 1uS 
• รองรับสัญญาณ Pulse ที่มี Repetitive Rate 10Hz ถึง 100KHz
• มีภาคกรอง Harmonics
• มีPort External Sync Input